La nueva solución 4DOF permite disminuir la complejidad de los equipos, los esfuerzos de integración, los costes y los riesgos.
PI (Physik Instrumente) anuncia la disponibilidad de una nueva solución de inspección de oblea que, basada en un diseño cinemático híbrido, combina motores Piezo-Walk y piezo stacks para lograr un recorrido largo y un movimiento altamente dinámico y preciso.
Esta solución de cuatro grados de libertad (4-DOF) contribuye a reducir la complejidad de los equipos, los esfuerzos de integración, los costes y los riesgos.
Motores Piezo-Walk
Los motores Piezo-Walk se autobloquean en reposo y no añaden calor ni oscilación del servo, a diferencia de otras técnicas de movimiento. El elevado ancho de banda de los actuadores piezo stack de corto recorrido permite un seguimiento dinámico y una compensación de error de las alteraciones externas (por ejemplo, desde fases de oblea XY de largo recorrido).
El módulo 4DOF también puede corregir la desalineación de giro de la oblea y tiene en cuenta el grosor de la oblea y las características estáticas de la máquina.
El diseño de alta rigidez del módulo de accionamiento Tip–Tilt proporciona un paso y un asentamiento extremadamente rápidos (menos de 10 ms) y estabilidad de posición (másde 0,05 µrad).
Para obtener más información de la nueva solución de inspección oblea 4DOF con motores Piezo-Walk, puedes ponerte en contacto con el “Servicio al lector de NTDhoy”.
