La nueva plataforma Crossbeam 550 Samplefab FIB-SEM, para la preparación de muestras TEM ofrece un rendimiento de automatización líder en la industria.
El Crossbeam 550 Samplefab FIB-SEM ha sido optimizado para la preparación automatizada de muestras de microscopía electrónica de transmisión (TEM) mediante la creación de lamelas desde muestras a granel, alcanzando un grosor de hasta 100 nm.
Con esta tecnología, es posible crear hasta diez lamelas en menos de ocho horas gracias a su software de control intuitivo y su capacidad de automatización superior.
Automatización y precisión en la preparación de lamelas
El nuevo Crossbeam 550 Samplefab de ZEISS se presenta como una solución enfocada en la preparación automatizada de lamelas de TEM, mediante un microscopio de haz de iones enfocado con escaneo electrónico (FIB-SEM).
Así, este dispositivo se ha diseñado para alcanzar altos niveles de eficiencia y rendimiento en laboratorios de semiconductores, mediante la automatización basada en recetas para procesos de fresado a granel, extracción y adelgazamiento.
La plataforma permite trabajar en cualquier número de puntos de destino en la muestra, asegurando una tasa de éxito de automatización de más del 90 %, y sin intervención del operador. El sistema cuenta con verificaciones automáticas que reducen al mínimo las pérdidas de lamelas, lo que eleva el índice de éxito hacia un 100 %.
El procesamiento de imágenes TEM es crucial para la identificación de defectos en dispositivos semiconductores y para mejorar los rendimientos de los procesos industriales.
Sin embargo, la exactitud de estos análisis depende directamente de la calidad y precisión de las lamelas, que deben prepararse con la máxima estabilidad y rapidez.
Por ello, el Crossbeam 550 Samplefab FIB-SEM ha sido desarrollado para ofrecer la automatización más robusta del mercado, proporcionando resultados precisos y repetitivos, alcanzando grosores de hasta 100 nm sin supervisión directa del operario.
Tecnología avanzada y diseño ergonómico
El sistema Crossbeam 550 Samplefab utiliza la columna electrónica Gemini 2, que permite observar en vivo la muestra con SEM durante el proceso de fresado por FIB, garantizando una calidad óptima y un control preciso de los resultados cuando se requieren muestras más delgadas de lo permitido por la automatización. Este enfoque flexible permite una visualización y control constantes del fresado, asegurando que las muestras alcancen la calidad final requerida.
Además, el sistema de columnas FIB se caracteriza por su alta estabilidad, y, aunque cuenta con una rutina automatizada de calibración, los usuarios reportan que rara vez es necesario alinear el sistema durante semanas, especialmente en trabajos rutinarios. Esta estabilidad no solo minimiza el esfuerzo del operador, sino que también optimiza el tiempo de configuración del dispositivo antes de cada ejecución automática.
Reducción de costos y aumento de la productividad
Otro de los aspectos relevantes del Crossbeam 550 Samplefab FIB-SEM es su capacidad para crear decenas de lamelas con una única punta de sonda, que puede ser reafilada varias veces antes de requerir un reemplazo.
La operación de afilado, que dura menos de 30 minutos, prolonga la vida útil de la sonda y reduce los costes de consumibles, ya que el cambio de una nueva punta solo requiere media hora.
Este diseño inteligente maximiza el tiempo productivo de la herramienta y proporciona a los operadores una gran flexibilidad y seguridad en los resultados obtenidos.
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